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超高分辨场发射扫描电子显微镜Regulus系列Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100

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产品详情

特点

沿用"SU8200系列"的冷场发射电子枪*2
采用电子束在Flashing后出现的高亮度稳定区域作为稳定观察的区间，使得低加速电压条件下兼备高分辨观察和分析的最佳性能
(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)
采用污染小、高真空样品仓
运用能量过滤器(选配)，可观察到多种成分对比度*2

极低着陆电压下高分辨观察

样品：金颗粒

着陆电压：10 V

超高分辨观察

样品：Pt催化剂

加速电压：30 kV

低加速电压下高分辨EDX分析

样品：Sn球

着陆电压：1.5 kV

*2仅限Regulus8240/8230/8220

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此外，SE系列包括4种型号（两种类型，两个等级），满足众多领域的测试需求。用户可以根据实际用途（如微观结构控制：用于改善电子元件、半导体等材料的功能和性能；异物、缺陷分析：用于提高产品品质）选择适合的产品。