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日立超高分辨率场发射扫描电子显微镜 SU9000

日立超高分辨率场发射扫描电子显微镜 SU9000

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产品详情

产品介绍:

专门为电子束敏感样品和需最大300万倍稳定观察的先进半导体器件,高分辨成像所设计。


产品特点:

1、新的电子枪和电子光学设计提高了低加速电压性能。

0.4 nm / 30 kV (SE)

1.2 nm / 1 kV (SE)

0.34 nm / 30 kV (STEM)

2、用改良的高真空性能和无与伦比的电子束稳定性来实现高效率截面观察。

3、采用全新设计的Super E x B能量过滤技术,高效,灵活地收集SE / BSE/ STEM信号


应用领域:

1.      半导体器件

2.      高分子材料

3.      纳米材料

4.      生命科学



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